1月13日，深交所创业板上市委2023年第6次审议会议公告称，将于1月20日审议无锡卓海科技股份有限公司(以下简称“卓海科技”)、上海盛普流体设备股份有限公司(以下简称“盛普股份”)、苏州珂玛材料技术有限公司(以下简称“珂玛科技”)的首发申请。
据悉，卓海科技本次拟发行股份不超过2,389.5575万股，占发行后总股本的比例不低于25.00%。公司本次拟募集资金54,734.00万元，大多数都用在半导体前道量检测设备扩产项目、研发中心建设项目和补充流动资金。
公开资料显示，卓海科技作为国内重要的半导体前道量检测设备供应商，主要是通过对退役设备的精准修复和产线适配来实现其再使用价值，为客户提供高稳定性、品类丰富的前道量检测修复设备，并通过配件供应及技术服务实现用户全方位需求。此外，公司也致力于前道量检测设备(如应力测量设备、四探针电阻测试仪等)及其关键配件(如激光器等)的自主研发。前道量检测设备作为贯穿晶圆制造全过程、不可或缺的质量控制设备，具备高精密度、结构较为复杂、品类众多的特点。在晶圆制造工艺代际更替过程中，终端应用的多样性使得不同制程的晶圆制造产线在较长时间内并存发展，相应推动了市场对不同制程前道量检测设备的多样化需求。
据悉，盛普股份本次拟发行股份不超过1,563.0858万股，占发行后总股本的比例不低于25.00%。公司本次拟募集资金70,736.82万元，大多数都用在新能源流体设备扩产项目、新材料及核心部件研发及产业化项目、研发技术中心建设项目和补充流动资金。
公开资料显示，盛普股份专注于精密流体控制设备及其核心零部件的研发、生产和销售，致力于为客户提供安全、智能、高效的流体控制解决方案。发行人产品主要使用在于新能源(包括光伏、动力电池等)、汽车电子等产品的生产制造，实现流体的精密输送、精确计量和精准涂覆，具体包括光伏组件边框涂胶机、接线盒点胶机、灌胶机以及动力电池电芯、模组、电池包的涂胶设备等，是下游客户打造智能工厂的关键核心设备之一，能有效助力国家实现“碳达峰、碳中和”战略。流体最重要的包含气体流体和液态流体两大类，发行人主要营业业务为液态流体中的粘性流体(主要为胶粘剂)控制设备，胶粘剂具有粘性高、压力大、成分复杂、流态不易控制、基础理论不完善等特点，因而需通过复杂计算和大量实验，构建流体运动模型，方可开发出高精度的流体控制产品，具有较高的技术壁垒。
据悉，珂玛科技本次拟发行股份不超过12,033万股，占发行后总股本的比例不低于25.00%。公司本次拟募集资金90,000.00万元，大多数都用在先进材料生产基地项目、泛半导体核心零部件加工制造项目、研发中心建设项目和补充流动资金。
公开资料显示，珂玛科技主营业务为先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务以及泛半导体设备表面处理服务。先进陶瓷材料是采用高度精选或合成的原料，具有精确控制的化学组成，并且具有特定的精细结构和优异性能的陶瓷材料。公司是国内本土先进陶瓷材料及零部件的领先企业之一，掌握关键的材料配方与加工工艺，并具备先进陶瓷前道制造、硬脆难加工材料加工和新品表面处理等全工艺流程技术。公司目前拥有由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅和氧化钇5大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系，主要类型材料的耐腐蚀、电绝缘、高导热、强机械性能等性能已达到国际主流客户的严格标准，公司也是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。
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